Beim Foucault-Sensor wird ein Laserstrahl auf die Objektoberfläche projiziert. Das von der Objektoberfläche gestreute Licht wird anschließend auf ein Fotodiodenpaar abgebildet. Allerdings blendet die sog. Foucault-Schneide die Hälfte des Laserstrahles ab, wodurch sich der Laserstrahl bei einer Objektverschiebung in z-Richtung auf dem Objekt horizontal verschiebt. Diese Verschiebung führt zu einer entsprechenden Verschiebung des Bildes auf den Fotodioden und somit zu unterschiedlichen Diodensignalen. Diese Abweichungen werden zum Nachregeln in der entsprechenden Achse des KMG genutzt. |