| Gegenüber der Einzelpunktantastung wird beim Scannen die Oberfläche des Werkstücks kontinuierlich abgefahren. Dabei wird das Messkopfsystem so nachgeführt, dass es ständig ausgelenkt ist. Die Messpunkte werden während des dynamischen Messvorgang zeit- oder wegabhängig aufgenommen. Dafür werden spezielle Tastköpfe mit messendem Messkopfsystem verwendet. Im Vergleich zum normalen Antasten werden beim Scannen deshalb wesentlich mehr Punkte aufgenommen. Wenn ein Kreis z.B. üblicherweise mit 7 Punkten angetastet wird (Normales Antasten mit einem schaltenden oder messenden Messkopf), so werden beim Scannen des Kreises leicht ein paar hundert Punkte erfasst. | 
Messendes Messkopfsystem für Scanning, Zeiss
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