Die erreichbare Messunsicherheit eines Koordinatenmessgerätes wird neben der Präzision der Führungen, Lagerungen und Antriebe besonders durch die Genauigkeit der Längenmesssysteme der bewegten Achsen beeinflusst. Maßgebend für die mechanische Genauigkeit des Messgerätes ist die Geradheit der Führungsbahnen und die Rechtwinkligkeit der Führungen zueinander, da sie das Maschinenkoordinatensystem darstellen. Am häufigsten werden luftgelagerte Hartgesteinführungen verwendet. Sie haben den Vorteil, dass sie keinen Slip-Stick-Effekt aufweisen und große Lasten statisch und dynamisch aufnehmen können. Die Hartgesteinführungen sind auf Grund ihres hohen Alters sehr langzeitstabil und sie wirken schwingungsdämpfend. Die Luftlager sorgen für eine reibungsfreie und berührungslose Bewegung der Achsen.